在半導體制造、特種化工等高端工業(yè)領(lǐng)域，生產(chǎn)過程中常常涉及高腐蝕性、高純度介質(zhì)。傳統(tǒng)壓力開關(guān)在嚴苛腐蝕環(huán)境下，其傳感膜片容易因腐蝕而失效，導致精度漂移、密封泄漏乃至設(shè)備停機，給連續(xù)化生產(chǎn)帶來巨大風險和成本損失。

WASCO UC8 壓力開關(guān)正是為應對這一核心痛點而設(shè)計。它明確定位為高可靠性、超高防泄漏等級的專用壓力開關(guān)，主要服務于下一代半導體加工設(shè)備、高端氣體輸配系統(tǒng)等對純凈度與可靠性要求極高的行業(yè)。

其核心價值在于通過 “材料+結(jié)構(gòu)”的雙重革新，從根本上解決了腐蝕與泄漏兩大難題。產(chǎn)品采用獨特的 Elgiloy 特種合金隔膜，這種材料以其卓越的耐腐蝕性著稱，能夠長期抵御各種腐蝕性介質(zhì)的侵蝕，確保傳感元件的長期穩(wěn)定性。

同時，UC8 采用全焊接結(jié)構(gòu)，徹底摒棄了傳統(tǒng)的O型圈等彈性密封方式，從物理結(jié)構(gòu)上消除了所有潛在的泄漏路徑。這一設(shè)計使其氦氣泄漏率達到了驚人的 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec 級別，完全符合甚至超越了 SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）F1 及 F20 UHP 關(guān)于超高壓部件的嚴苛標準。

核心技術(shù)亮點

WASCO UC8 的核心技術(shù)優(yōu)勢集中在材料科學與結(jié)構(gòu)設(shè)計兩個方面。其最關(guān)鍵的創(chuàng)新在于采用了Elgiloy（埃爾吉洛伊）特種合金作為壓力感應隔膜材料。Elgiloy是一種鈷鉻鎳合金，以其極佳的抗疲勞強度、出色的耐腐蝕性和無磁性而聞名。

在半導體工藝中，面對氯氣、氟化氫等強腐蝕性氣體，普通金屬膜片會迅速劣化，而Elgiloy隔膜能長期保持性能穩(wěn)定，這是實現(xiàn)高精度和長壽命的基石。

在結(jié)構(gòu)上，UC8 采用了革命性的全焊接密封結(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)壓力開關(guān)的泄漏點多出現(xiàn)在膜片與腔體的機械密封處。UC8 通過精密焊接工藝，將Elgiloy隔膜與316L不銹鋼工藝接口等所有濕件部件完全熔融焊接為一個整體。

這種“一體成型”的結(jié)構(gòu)，從根源上杜絕了介質(zhì)沿密封面滲漏的可能，實現(xiàn)了真正的“零泄漏”。這一技術(shù)是它能通過≤1x10?? cc/sec級別氦檢漏測試的根本原因。

性能參數(shù)

精度與范圍：激活點范圍覆蓋50至1500 Torr（絕壓），典型激活點公差為 ±15 Torr + 2%激活點，在寬廣范圍內(nèi)提供可靠設(shè)定點。

可靠性指標：額定機械壽命≥2,000,000次循環(huán)；耐壓100 PSIG，爆破壓力高達1000 PSIG以上，安全余量充足。

環(huán)境適應性：工作溫度范圍為-20至60°C，防護等級達到 IP67，可適應多數(shù)工業(yè)環(huán)境。

場景應用

半導體蝕刻與沉積工藝設(shè)備

在半導體晶圓制造的蝕刻（Etch）和化學氣相沉積（CVD）等關(guān)鍵工藝腔室中，需要精確控制腐蝕性反應氣體（如Cl?、NF?、WF?）或高純度惰性氣體的壓力。UC8 壓力開關(guān)憑借其Elgiloy隔膜卓越的耐腐蝕性，能確保在長期接觸強腐蝕介質(zhì)后，壓力設(shè)定點不發(fā)生漂移，保障工藝重復性。其全焊接的超低泄漏率特性，更能防止工藝氣體外泄或外界污染物滲入，直接關(guān)系到晶圓的良品率和設(shè)備安全。

高純度特種氣體分配系統(tǒng)（GDS）與閥組箱體

對于為 Fab 廠輸送硅烷、磷烷、氯氣等超高純、有毒或易燃易爆特種氣體的中央分配系統(tǒng)與閥組箱體（VMB），安全與純凈是生命線。安裝于此的UC8壓力開關(guān)，其 ≤ 1x10?? cc/sec 的泄漏等級，能最大限度地減少氣體外泄造成的安全隱患、環(huán)境污染和氣體浪費。同時，其對介質(zhì)的高純凈度保證，避免了因開關(guān)自身原因污染氣路，守護了下游工藝設(shè)備的“口糧安全”。

工業(yè)氣體監(jiān)測與安全聯(lián)鎖系統(tǒng)

在需要長期穩(wěn)定監(jiān)測壓力并觸發(fā)安全聯(lián)鎖的場合，如氣體儲存、化學品供應線等，設(shè)備的長期免維護可靠性至關(guān)重要。UC8高達200萬次的機械壽命和出色的環(huán)境耐受性（IP67，寬溫域），意味著它能在無人值守或維護不便的環(huán)境中，提供長達數(shù)年的穩(wěn)定監(jiān)控，極大減少了因傳感器自身故障導致的誤報警或安全失靈風險，為連續(xù)化生產(chǎn)的整體安全保駕護航。

UC8壓力開關(guān)為追求極致可靠與純凈的工業(yè)領(lǐng)域，特別是半導體制造業(yè)，提供了一個標桿式的解決方案。它通過采用特種合金隔膜和全焊接密封結(jié)構(gòu)，樹立了耐腐蝕與零泄漏的雙重標準。

產(chǎn)品不僅參數(shù)領(lǐng)先，更是深度匹配了高端制造業(yè)對設(shè)備長周期、零故障穩(wěn)定運行的剛性需求。無論面對強腐蝕、高純度還是要求超長壽命的應用挑戰(zhàn)，UC8都以其專業(yè)可靠的表現(xiàn)，幫助用戶構(gòu)筑了堅實的設(shè)備基礎(chǔ)，守護著現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的效率與安全。