02.4型大型轉(zhuǎn)移閥搭載MONOVAT技術(shù)，專為滿足高真空條件下有機(jī)材料蒸鍍系統(tǒng)的特殊需求而研發(fā)。該閥門專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，兼具卓絕的快速動(dòng)作響應(yīng)與抗工藝沉積物能力，可有效避免標(biāo)準(zhǔn)閥門性能受限問題。02.4型閥門經(jīng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)100萬次不間斷運(yùn)行，之后才需進(jìn)行初次引薦維護(hù)檢查。

高運(yùn)行時(shí)間與可靠性能是02.4系列的核心優(yōu)勢(shì)，其維護(hù)需求被降至lowest。采用專屬M(fèi)ONOVAT密封技術(shù)，閥門啟閉過程實(shí)現(xiàn)無沖擊運(yùn)動(dòng)，有效抑制顆?；罨p少密封磨損。密封機(jī)構(gòu)的緊湊設(shè)計(jì)使整個(gè)閥體結(jié)構(gòu)精巧，安裝尺寸小巧。

該系列已在全球數(shù)百家顯示器與光伏生產(chǎn)系統(tǒng)中投入運(yùn)行，經(jīng)受各種工藝條件考驗(yàn)，其卓絕性能在各方面均獲得充分驗(yàn)證。

02.4型大型轉(zhuǎn)移閥（帶MONOVAT）與所有VAT轉(zhuǎn)移閥解決方案一樣，均可根據(jù)客戶準(zhǔn)確要求定制。定制要素包括：用于脈沖驅(qū)動(dòng)的電磁閥、特殊表面處理（如硬質(zhì)陽極氧化或鍍鎳鋁材）、其他密封材料、閘門接地等。

緊湊設(shè)計(jì)與小巧安裝尺寸

無沖擊閘門運(yùn)動(dòng)

抗工藝沉積物能力

低運(yùn)行成本

快速循環(huán)時(shí)間

高運(yùn)行時(shí)間，低維護(hù)需求

平板顯示器制造：用于有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）等顯示面板的真空沉積工藝，確保高精度材料沉積。

光伏生產(chǎn)：在太陽能電池的真空鍍膜環(huán)節(jié)中，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的穩(wěn)定傳輸，提升產(chǎn)品良率。

半導(dǎo)體封裝：支持高真空條件下的晶圓傳輸，減少顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)。